半導体プロセスの流体加熱 線内化学ヒーター

概要

PFA直線ヒーターは,水素フッ素酸 (HF),カリウムヒドロキシード (KOH),およびPFAと互換性のある他の化学物質のために設計されています.

これらのPFAヒーターは,広く受け入れられている高純度材料を操作極限まで押し上げ,性能と信頼性を最大化します.

高度な清度の液体の加熱を 性能と信頼性の新たなレベルに 再び上げました

高純度液体の加熱を 性能と信頼性の 新しいレベルに 再び上げました厳しい環境 で 高純度 の 材料 を 用い て 液体 を 熱す の は,経験 から だけ 得 られる 特殊 な 技能 や 知識 が 必要 です.40年以上にわたり,我々のエンジニアは 暖かいクォーツ風呂を改良し, 半導体および関連産業の重要なニーズを理解しています.この知識の総和が PFA の直線ヒーターに組み込まれ,ISO 9001で登録されていることが示されています製造プロセス制御への私たちの献身は,私たちの顧客が均等に高品質の製品を間に合う方法で受け取ることを保証します標準モデルとカスタムモデルを 幅広い範囲で提供し,ほぼあらゆるアプリケーションに 簡単に統合できます.

• 重いゲージのプリフォームインコネル要素は,破損することなく,高いストレスの条件に耐えることができます
• 電力調節器は,ヒーターエレメントの温度をモニターし,ハウジング内の熱蓄積を防止します
• 密封されたハウジングは,内部構成要素を攻撃する化学物質を防止し,二次的な封鎖を提供します.
• 内部漏れ検出ストライプ (外部モニタが必要) は,化学漏れを早期に検出します
• 化学的攻撃を防ぐためにテフロン管で遮断されたすべてのワイヤリング
• 間接的な加熱設計,浸水式加熱装置がない
• N2やガス浄化は必要ない

特徴

• Oリングシールなし
• すべての湿った表面は高純度PFAです
• 2重隔離用のPTFEホース
• 性能のための最大ワット密度
• 軽量構造
• 独特なデザインによって可能な小さな足跡
• メンテナンスの必要性ゼロ
• PFA流体経路,広範囲の化学互換性
• 高温対応 200°C以上

 

仕様

暖房	PFA 線内化学ヒーター
ワッタ	1.5-12 kW
プロセス化学	水素フッ素酸 (DHF) バッファリングされたフッ素酸 (BHF) バッファードオキシドエッチ (BOE) アルカリ性化学物質 (TMAH,KOH,NAOH) フロアイン溶媒 水素フッ素酸 グリコール,そしてもっとたくさん.
最大動作温度	180°C (コンサルタント工場) 高温の場合)
最大圧力	180°Cで40psi
電圧	200〜400VAC 単相または3相 モデルに依存する

 

 

産業

 

• 半導体製造
• 太陽電池製造
• フラットパネルディスプレイ,LEDと電子機器
• 化学品製造
• 工業製造業

申請

アノード化
アノジス (Anodizing) は,金属表面を酸化層に変換する電気化学的プロセスである.主にアルミがアノジスに使用されるが,チタンやマグネシウムなどの他の非鉄金属は,アノイド化することもできます金属部品は陽極として接続され,酸性電解液浴に浸透し,電流が適用され,部品から酸化層を成長させます.表面の仕上げは,耐腐蝕性や耐久性などの機能特性を提供しますオーバーシードヒーターは美しく精密な仕上げを オーバーシード電源は高電流,高精度現代のアノジス 処理の要件を満たすため.

 

製品アノード化
MOTS シングル 底部,ダラテッド 低ワット密度,L型,底部,金属の側面の浸水ヒーター. 単相または三相. 三相. 500-6000ワット,120-480ボルト. .	MOTS トリプル L 形 L型で底の金属型 3相 単相 3相 3000〜36,000ワット 200〜600ボルト	6HSシリーズ チューブル 側には6エレメントのチューブル式暖房 3相 6000〜21000ワット 208〜600ボルト
MOTS トリプル 深いタンク 深いタンク,サイドヒーターの上に金属. 3相. 300°F (149°C) まで熱します. 単相または3相. 18000-54000ワット,208-600ボルト.	MOTS トリプル 深いタンク 深いタンク,サイドヒーターの上に金属. 3相. 300°F (149°C) まで熱します. 単相または3相. 18000-54000ワット,208-600ボルト.	G (グリッド) シリーズコイル より大きなタンクのための効率的な水平,垂直,L型の浸水コイル.鋼,316ステンレス鋼,チタンで利用できます.
9HXシリーズ 低ワット密度,9つの元素のフローロポリマー (PTFE) 304のステンレス元素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性です. 3相. 3000-18,000ワット,208-600ボルト.	6HXシリーズ 低ワット密度,6つの元素のフローロポリマー (PTFE) 304のステンレス元素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性. 3相. 2000-12000ワット,208-600ボルト.	3HXOLシリーズ 低ワット密度,3つの要素,底部ヒーター.フローロポリマー (PTFE) 304のステンレス要素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性である. 3000-18000ワット,208-480ボルト.
HXFシリーズ 低ワット密度,スピラルヒーター. フレアポリマー (PTFE) 304ステンレス元素は,ほとんどの溶液に惰性です. 500-6000ワット,120-600ボルト.	HXシリーズ 低ワット密度,螺旋型. フレアポリマー (PTFE) 袖 304ステンレス元素,ほとんどの溶液に惰性. 単相. 500-9000ワット,120-600ボルト.	3HXシリーズ 低ワット密度,3つの要素のヒーター.フローロポリマー (PTFE) 304のステンレス要素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性です. 3相. 1000-6000ワット,120-600ボルト.