半導体線内化学ヒーターのための工業用水温装置

概要

PFA直線ヒーターは,水素フッ素酸 (HF),カリウムヒドロキシード (KOH),およびPFAと互換性のある他の化学物質のために設計されています.

これらのPFAヒーターは,広く受け入れられている高純度材料を操作極限まで押し上げ,性能と信頼性を最大化します.

高度な清度の液体の加熱を 性能と信頼性の新たなレベルに 再び上げました

高純度液体の加熱を 性能と信頼性の 新しいレベルに 再び上げました厳しい環境 で 高純度 の 材料 を 用い て 液体 を 熱す の は,経験 から だけ 得 られる 特殊 な 技能 や 知識 が 必要 です.40年以上にわたり,我々のエンジニアは 暖かいクォーツ風呂を改良し, 半導体および関連産業の重要なニーズを理解しています.この知識の総和が PFA の直線ヒーターに組み込まれ,ISO 9001で登録されていることが示されています製造プロセス制御への私たちの献身は,私たちの顧客が均等に高品質の製品を間に合う方法で受け取ることを保証します標準モデルとカスタムモデルを 幅広い範囲で提供し,ほぼあらゆるアプリケーションに 簡単に統合できます.

• 重いゲージのプリフォームインコネル要素は,破損することなく,高いストレスの条件に耐えることができます
• 電力調節器は,ヒーターエレメントの温度をモニターし,ハウジング内の熱蓄積を防止します
• 密封されたハウジングは,内部構成要素を攻撃する化学物質を防止し,二次的な封鎖を提供します.
• 内部漏れ検出ストライプ (外部モニタが必要) は,化学漏れを早期に検出します
• 化学的攻撃を防ぐためにテフロン管で遮断されたすべてのワイヤリング
• 間接的な加熱設計,浸水式加熱装置がない
• N2やガス浄化は必要ない

仕様

暖房	PFA 線内化学ヒーター
ワッタ	1.5-12 kW
プロセス化学	水素フッ素酸 (DHF) バッファリングされたフッ素酸 (BHF) バッファードオキシドエッチ (BOE) アルカリ性化学物質 (TMAH,KOH,NAOH) フロアイン溶媒 水素フッ素酸 グリコール,そしてもっとたくさん.
最大動作温度	180°C (コンサルタント工場) 高温の場合)
最大圧力	180°Cで40psi
電圧	200〜400VAC 単相または3相 モデルに依存する

 

 

産業

 

• 半導体製造
• 太陽電池製造
• フラットパネルディスプレイ,LEDと電子機器
• 化学品製造
• 工業製造業

 

 

申請

表面の準備
塗装前には,ほとんどの表面が準備されなければなりません.表面の準備段階には,しばしば清掃,衛生化,または電極磨きが含まれます.

表面加工用製品
MOTS シングル 底部,ダラテッド 低ワット密度,L型,底部,金属の側面の浸水ヒーター. 単相または三相. 三相. 500-6000ワット,120-480ボルト. .	MOTS トリプル L 形 L型で底の金属型 3相 単相 3相 3000〜36,000ワット 200〜600ボルト	6HSシリーズ チューブル 側には6エレメントのチューブル式暖房 3相 6000〜21000ワット 208〜600ボルト
9HXシリーズ 低ワット密度,9つの元素のフローロポリマー (PTFE) 304のステンレス元素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性です. 3相. 3000-18,000ワット,208-600ボルト.	6HXシリーズ 低ワット密度,6つの元素のフローロポリマー (PTFE) 304のステンレス元素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性. 3相. 2000-12000ワット,208-600ボルト.	3HXOLシリーズ 低ワット密度,3つの要素,底部ヒーター.フローロポリマー (PTFE) 304のステンレス要素をカバーし,ほとんどの溶液に惰性である. 3000-18000ワット,208-480ボルト.
HXFシリーズ 低ワット密度,スピラルヒーター. フレアポリマー (PTFE) 304ステンレス元素は,ほとんどの溶液に惰性です. 500-6000ワット,120-600ボルト.	HXシリーズ 低ワット密度,螺旋型. フレアポリマー (PTFE) 袖 304ステンレス元素,ほとんどの溶液に惰性. 単相. 500-9000ワット,120-600ボルト.	QMシリーズヒーターエレメント メタルエレメント (QM第1部分) 単相.最高212°F (100°C) に熱します.500〜10000ワット,120〜600ボルト.